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本方案整合Moxtek、Acktar、On-Trak三家光學(xué)元件產(chǎn)品，覆蓋“光路控制-雜散光抑制-定位測量”等方面檢測需求，為28nm以下晶圓缺陷檢測技術(shù)提供關(guān)鍵光學(xué)元件支撐。